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ATC系列多腔&多工艺混合系统

免费样品检验 48小时发货 工厂直销
¥300万-1000万

产品规格：集成多种薄膜沉积方式、离子刻蚀和单腔室内分析操作或多腔室内

公司所在地：重庆

产品库存：现货及定制

可供货地区：全国

其他说明：

可集成多种工艺； 包含：标准多腔系统配置、标准单腔混合工艺系统配置

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可集成多种工艺； 包含：标准多腔系统配置、标准单腔混合工艺系统配置收起

品牌：
AJA
型号：
ATC UHV 超高真空双腔系统
用途范围：
实现基片在不同工艺腔之间传输，不破坏真空
重庆眺...
重庆眺望科技有限公司
联系人：眺望科技
主营业务：美国AJA磁控溅射，离子刻蚀、电子束蒸发等PVD设备，先进电镀设备，ICP,PECVD,ALD,RIE等离子体工艺设备等，美国Film Sense多波长椭偏仪，ATL激光器以及徕卡LEICA光学显微镜
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